Grunderna i mikro- och nanoteknologi

Valbar kurs i masterprogrammen i fysik

MC2 Chalmers

Kandidatexamen i fysik eller motsvarande

Kärnan i kursen ägnas åt teori och praktik av mikro- och nano-tillverkningsmetoder, en av de viktigaste beståndsdelarna i den moderna Nanotekniken. Moderna mönster överföringstekniker som e-stråle- eller röntgenlitografi och olika tunnfilmsdeponeringsmetoder inklusive termisk-förångning, sputtring, kemisk-förångningsdeposition och epitaxi behandlas i denna kurs, med deras fysiska-och kemiska bakgrund. Tunnfilmbildning, filmstruktur och metoder för karakterisering förklarats, med särskild betoning på korrelation mellan deponeringsparametrar och resulterande materialegenskaper. Under föreläsningarna lär sig eleverna också vakuumsystem (inklusive system för drift och design) och fysikaliska processer i gaser. Dessutom blir några praktiska komponenter som CMOS-transistorer och lysdioder studerade i mer detalj.

• Beskriva och ordna materialvetenskapliga aspekter och fysikaliska principer inom nanoteknik
• Undersöka och belysa sambandet mellan bearbetning, materialstruktur, vilket egenskaper och prestanda för enheterna
• Välja rätt material, deponeringsteknik och karakteriseringsmetod för en viss uppgift
• Beskriva och bedöma fördelar och begränsningar av olika litografi-och tunnfilmsdeponeringstekniker;
• Översiktligt förstå utvecklingen och beskriva de senaste trenderna inom nanoteknik
• Presentera en kritisk sammanfattning av en ny och lovande nano-tillverkningsteknik eller produkt/komponent vid en studentkonferens
• Förstå och beskriva de allmänna regler och säkerhetsrutiner som krävs för att arbeta i renrumsmiljö och med farliga kemikalier

Kursen innehåller föreläsningar, flera demonstrationer och ett litteraturprojekt. Ett antal quiz-frågor ges för att fördjupa kunskapen som erhållits under föreläsningarna och att förbereda sig för quiz- baserade examen.

Quiz-baserad tentamen som vanligen omfattar 120-130 testfrågor, motsvarar 70% av hela kursresultatet. 20% kommer att ges för hemuppgifter. De sista 10% kommer att ges för ett litteraturprojekt och deltagande i laboratorieövningar.

Om en student som har underkänts två gånger på samma examinerande moment önskar byta examinator inför nästa examinationstillfälle ska en sådan begäran bifallas om det inte finns särskilda skäl däremot (6 kap. 22 § HF).

Om en student har fått besked om pedagogiskt stöd från Göteborgs universitet med rekommendation om anpassad examination och/eller anpassad examinationsform kan examinator, i det fall det är förenligt med kursens lärandemål och förutsatt att inte orimliga resurser krävs, besluta att bevilja studenten anpassad examination och/eller anpassad examinationsform.

Om en kurs har avvecklats eller genomgått en större förändring ska studenten erbjudas minst två examinationstillfällen, utöver ordinarie examinationstillfälle. Dessa tillfällen fördelas under en tid av minst ett år, dock som längst två år efter det att kursen avvecklats/förändrats. Vad gäller praktik och verksamhetsförlagd utbildning (VFU) gäller motsvarande, men med begränsning till endast ett ytterligare examinationstillfälle.

Om en student har fått besked om att denne uppfyller kraven för att vara student vid Riksidrottsuniversitetet (RIU-student) har examinator rätt att besluta om anpassning vid examination, om detta görs i enlighet med Lokala regler gällande RIU-studenter vid Göteborgs universitet.

Resultatet och eventuella förändringar i kursens upplägg ska förmedlas både till de studenter som genomförde värderingen och till de studenter som ska påbörja kursen.