Till sidans topp

Sidansvarig: Webbredaktion
Sidan uppdaterades: 2012-09-11 15:12

Tipsa en vän
Utskriftsversion

Nanohillock formation by … - Göteborgs universitet Till startsida
Webbkarta
Till innehåll Läs mer om hur kakor används på gu.se

Nanohillock formation by impact of small low-energy clusters with surfaces

Artikel i vetenskaplig tidskrift
Författare Vladimir Popok
Sergei Prasalovich
Eleanor E B Campbell
Publicerad i Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
Volym 207
Nummer/häfte 2
Sidor 145-153
Publiceringsår 2003
Publicerad vid Institutionen för fysik (GU)
Sidor 145-153
Språk en
Länkar www.sciencedirect.com/science?_ob=A...
Ämnesord cluster source, cluster ion implantation, nanosize hillock, atomic force microscopy
Ämneskategorier Atomfysik, Ytor och mellanytor

Sammanfattning

Results on nanoscale structuring of different substrates (silicon, pyrolytic graphite, indium-tin-oxide) using clusters from 20 to 100 atoms in size formed from gaseous precursors (O2, N2, Ar) at relatively low impact energy up to 15 keV are presented. Images of the substrate surfaces after cluster collisions obtained using atomic force microscopy (AFM) show the formation of hillocks from a few to 15 nm height with a basal diameter from 50 to 300 nm depending on implantation conditions. The shape and size of the structures are found to be a function of the cluster size and species, implantation energy, impact angle and the type of substrate. A model explaining the hillock formation is discussed.

Sidansvarig: Webbredaktion|Sidan uppdaterades: 2012-09-11
Dela:

På Göteborgs universitet använder vi kakor (cookies) för att webbplatsen ska fungera på ett bra sätt för dig. Genom att surfa vidare godkänner du att vi använder kakor.  Vad är kakor?