Till sidans topp

Sidansvarig: Webbredaktion
Sidan uppdaterades: 2012-09-11 15:12

Tipsa en vän
Utskriftsversion

Surface nanostructuring b… - Göteborgs universitet Till startsida
Webbkarta
Till innehåll Läs mer om hur kakor används på gu.se

Surface nanostructuring by implantation of cluster ions

Artikel i vetenskaplig tidskrift
Författare Vladimir Popok
Sergei Prasalovich
Eleanor E B Campbell
Publicerad i Vacuum
Volym 76
Nummer/häfte 2-3
Sidor 265-272
Publiceringsår 2004
Publicerad vid Institutionen för fysik (GU)
Sidor 265-272
Språk en
Länkar www.sciencedirect.com/science?_ob=A...
Ämnesord cluster ion implantation, cluster-surface collision, crater, hillock
Ämneskategorier Fysik, Ytor och mellanytor

Sammanfattning

A brief state-of-the-art review in the field of cluster ion implantation is presented. Ionised cluster beams are considered as a controllable and versatile tool for modification and processing of surfaces and near-surface layers on an atomistic scale as an alternative to ion implantation and ion assisted deposition. The main effects occurring under cluster-surface collisions as well as advantages in the application of cluster ion beams are reviewed. The problem of surface erosion under impact of energetic cluster ions is emphasised in the paper. A model explaining crater and hillock formation on target surfaces with relation to the thermal-transfer effect and local target melting at the collision spot is discussed.

Sidansvarig: Webbredaktion|Sidan uppdaterades: 2012-09-11
Dela:

På Göteborgs universitet använder vi kakor (cookies) för att webbplatsen ska fungera på ett bra sätt för dig. Genom att surfa vidare godkänner du att vi använder kakor.  Vad är kakor?

Denna text är utskriven från följande webbsida:
http://www.gu.se/forskning/publikation/?publicationId=61251
Utskriftsdatum: 2020-04-03